薄膜測定      真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE

真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE

概要

真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。

フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。

前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。

【真空紫外 分光エリプソメーターの仕様】
 -測定波長範囲: 135~650nm (オプションで、最大2000nmまでの測定が可能)
 -窒素パージシステム
 -D2ランプ搭載 (波長範囲拡張の場合は、Xeランプ)
 -自動入射角度設定
 -前分光タイプ

オプション

-波長範囲拡張 135nm - 最大2000nm
-自動マッピングステージ
-自動高さ調整機能
-コンペンセーター
-マイクロスポット

測定データ イメージ

真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
フォトレジスト測定データ
真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
フォトレジスト nkデータ