薄膜測定      光学式ポロシメーター EP

光学式ポロシメーター  EP

概要

細孔率・細孔径分布測定装置
※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。 
   WORLDWIDEで多数実績があります。

光学式ポロシメーターの特徴

- 世界唯一の分光エリプソメーター技術での細孔量・細孔径分布測定装置

- 細孔率(ポロシティー)、細孔径分布、膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率, CTEが測定可能

- 従来の方式に比べ、短時間での測定が可能(20分/point)

アプリケーション

- Low-K膜の細孔率測定
- 色素増感太陽電池のTiO2 細孔率測定

装置仕様

- 測定可能細孔サイズ(直径): 0.5~65nm
- スポットサイズ: 1.2 x 0.8mm
- 測定サンプル構成: 単層/多層ともに測定可能
- サンプルサイズ: 2~300mm (フィルム厚さ: 50nm~5μm)
- 測定時間: 20分/point
- 溶媒: IPA(イソプロパノール), メタノール、トルエン、水

1. 光学式ポロシメーター

光学式ポロシメーター  EP
細孔率 測定イメージ

2. ポロシメーター 測定結果

光学式ポロシメーター  EP
細孔径分布