太陽電池      インライン型ウェハー測定モジュール

インライン型ウェハー測定モジュール - 太陽電池

概要

品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。 
搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。
ウェハーの測定、測定後のウェハーソーティングが可能です。

各モジュール仕様

ウェハーサイズ: 100 - 210mm
各モジュールサイズ: 135(W) x 460(H) x 403(D)mm

●ライフタイム測定モジュール
   ・ライフタイム測定方法: u-PCD
  ・ライフタイム測定範囲: 0.1から1000μs
  ・測定速度: 35ポイント/156mm角ウェハー(約0.6秒)

 ●比抵抗/厚さ測定モジュール (PN判定オプション)
  ・比抵抗測定方法: 渦電流
  ・比抵抗測定範囲: 0.3から15Ωcm
  ・厚さ測定範囲: 100μmから1.5mm
  ・測定速度: 25ポイント/156mm角ウェハー(約0.6秒)

 ●シート抵抗測定モジュール
  ・測定範囲: 10Ω/□から200Ω/□
   ・測定速度: 35ポイント/156mm角ウェハー(約0.6秒)

※ インライン型エッジ・アイソレーション チェッカー もあります。

インライン型ウェハー測定モジュール - 太陽電池
インライン型ライフタイム測定モジュール WML-1
インライン型ウェハー測定モジュール - 太陽電池
インライン型比抵抗/厚み測定モジュール WMT-3