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エミッタ―シート抵抗測定装置 CMS, CLS
CMS、CLS 高速・非接触の材料特性評価とプロセス管理エミッターシート抵抗は、エミッター拡散後のPVアプリケーションにおいて、シリコンウェハーに対する主要な品質管理パラメータです。 CLSモデル(CLS-1A、CLS-3A、CLS-5A)のエミッターシート抵抗測定システムでは、1~5ポイントのシート抵抗を... ...
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シート抵抗測定
イオン注入プロセスとインプラントアニーリングプロセスの組み合わせは、通常、注入層のシート抵抗を測定することでモニタリングされます。シート抵抗は、ドーズ量とエネルギーや、注入された不純物のうちで電気的に活性化されたインプラント量によって変化します。デバイスの性能を最終的に決めるのは、シート抵抗です。このため、シート抵抗の測... ...
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キャリアライフタイム測定装置 WT-2000 / 2A
WT-2000/2A WT-2000は、中規模の製造工場や研究所にお勧めのシステムです。 特徴とシステム仕様: ウェハーサイズ:ベア表面または誘電体被膜表面で最大300mm ウェハーのハンドリング:手動またはセミラボ製インデクサ ローディングオプション:100~200mmカセットインデクサ 13スロット式300mmカセ... ...
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シート抵抗測定
シート抵抗(SHR)は、 薄膜・ドープ半導体領域(PN接合)2次元層の抵抗です。 SHRは、ドーピング濃度とジャンクション深さに左右され、拡散プロセスの特性評価に適しています。 動作の原理は、 n+pまたはp+n層構造の光励起、それから生じる表面電位のキャパシタンスプローブによるピックアップに基づいてい... ...
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自動ライフタイム測定装置WTシリーズ
WT-2200・WT-2500・WT-3000 WTシリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力で独立型の測定プラットフォームです。ベースシステムには、【電源・コンピュータ・オペレーティングソフト・XY測定ステージ】特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。各システムは、ユー... ...
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ライフタイム測定装置 WT-2000 (μPCDキャリアライフタイム)
WT-2000 ライフタイム測定装置WT-2000は、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な卓上型測定プラットフォームです。ベースシステムには【電源・コンピュータ・オペレーティングソフト・XY測定ステージ】特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。このシリーズはマップを作成するた... ...
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全自動シート抵抗測定装置 RTシリーズ
RT-2500、RT-3000 セミラボの新世代シート抵抗測定装置は、ラボ用のコスト効率に優れたプラットフォーム(WT)から、半導体製造プロセス用のSEMI規格に完全に準拠したプラットフォーム(RT)までの幅広いプラットフォームに、4探針プローブ(4PP)と非接触測定法を組み合わせています。従来式の4PPの他に、非接触測定をBE... ...
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シート抵抗測定
シート抵抗測定(SHR)は、PN接合に適用できます。 SHRは、ドーピング濃度とジャンクション深さに左右され、拡散プロセスの特性評価に適しています。 動作の原理は、n+pまたはp+n層構造の光励起と、 それから生じる表面電位のキャパシタンスプローブによるピックアップに基づいています。 検出電位は材料の... ...