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エアギャップCV測定
図2.エアギャップCVプロファイリング エアギャップCV(ACV)技術は、エピ層(エピタキシャル層)やシリコン基板抵抗率の非接触測定を可能にするために、従来の測定手法でモニターする場合に生じていたテストウェハーのスクラップをなくし、コストを削減します。あらゆる型のエピ基板を非接触でモニターすることができます(p/p+... ...
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エアギャップ非接触CV測定装置 ACVシリーズ
ACV-2200、ACV-3000、ACV-3100 ACVシステムでは、特許取得済みの技術を用いて、エピ層抵抗率を100%非接触・非破壊で測定します。測定の背後にある原理はCVショットキーや水銀プローブによく似ているため、 出力は従来のCVドーピングプロファイルになります。違いは、電極がウェハーに接触しな... ...