WT-2000PI
e-PCD法に基づいてシリコンインゴットで
少数キャリア・ライフタイムをモニターする完全な測定装置です。
WT-2000PIライフタイムスキャナーは、
e-PCD法に基づいてØ300×500mmまでのシリコンインゴットでパッシベーションなしで
少数キャリア・ライフタイムをモニターする完全な測定装置です。
非接触測定を高速に行います
（シリコンインゴット上の単一ポイント、ラインスキャンおよび/またはマップ）。
手動と自動の測定モードがあり、手動のインゴットローディング機能を装備しています。
特徴とシステム仕様：
- サンプルサイズ：最大300×500mm
- ローディング：手動
- サンプル抵抗率範囲：0.5～10000Ωcm
- カラーマップ形式のデータ出力
- データと画像はWordなどの他のWindowsアプリケーションで簡単に交換可能
- 複数のデータファイルを同時に操作
- 測定中にデータを評価
- TCP/IPプロトコルベースのSECS/GEMなどのオープンネットワークソリューション
- ローカル/リモートデータベースサーバーに対応（ODBC）
- サンプルの自動/手動記録などの通信が可能
オプション：
- 小片測定（必要最小厚：20mm）
- 抵抗率測定
- P/N導電型判定器
