太陽電池      ライフタイム測定装置 WT-2000

ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池

概要

ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック)

※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。

u-PCDマイノリティキャリア・ライフタイム測定装置WT-2000は、太陽電池マーケット、半導体マーケット共に、世界的に業界屈指の実績があり、マーケットスタンダード化しています。

サンプルタイプ

- シリコンインゴット
- シリコンブロック
- ウェハー
- 太陽電池セル

サンプルサイズ

- Wafer: 最大210 x 210mm
- Block: 最大210 x 210 x 500mm

ライフタイム測定機能(オプション含む)

- u-PCD / キャリア・ライフタイム
- Laser SPV / 拡散長
- 鉄汚染による濃度測定
- セルの電流値測定(LBIC)
- 反射率測定 / IQE(内部量子効率)
- 比抵抗測定
- シート抵抗(リーク電流、エッジアイソレーションチェック)
- 表面パッシベーション(ケミカル処理、コロナチャージ)
- PN判定
- JPV(PN接合部のジャンクション・リーク電流、シート抵抗、容量)
 

ライフタイム測定結果

ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
as cut wafer
ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
finished cell
ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
block

ライフタイム以外の測定結果

ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
LBIC
ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
反射率測定
ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
シート抵抗測定

その他のライフタイム測定装置 

ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
WT-2500( 300mm two Foup)
ライフタイム測定装置 WT-2000 - 太陽電池
WT-3000(300mm two Foup)