シリコンブロック内部異物検査装置 IRB-50

シリコンブロック内部異物検査装置 IRB-50

概要

IRB-50は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。

ワイヤーソー等でシリコンブロックをスライスする際に、事前にIRB-50にて内部異物を検出し、対応することによって、ワイヤーソーのダメージ、断線を抑えることが可能です。

IRB-30の後継機となり、エリアスキャンから
ラインスキャンとなったことにより、測定分解能、精度、設置面積が改善されました。

製品仕様

・最大ブロックサイズ: 210mm角 x 長さ400mm
              (サイズ応相談)
・ブロックタイプ: 研磨、研磨なしともに測定可能
・測定方式: ラインスキャン
・測定時間: 1面 5秒、自動4面測定 35秒
・測定分解能: 0.1mm
・カットポジション精度: 0.1mm
・検出可能な対象物: SiC, SiN, クラック、空包など

シリコンブロック内部異物検査装置 IRB-50
結晶系シリコンブロック
シリコンブロック内部異物検査装置 IRB-50
測定結果解析