太陽電池 製品一覧

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R
    ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール) 生産工程で、薄膜フィルムの膜厚と光学定数(屈折率、消衰係数)の測定・検査を行います。QCモニタリングにて多くの実績があります。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 高効率太陽電池開発用測定装置 PV-2000
    PV-2000は、Semilab社とSDI社の技術を結合した太陽電池開発用の総合測定装置です。
  • シリコンブロック内異物検査装置 IRB-50
    IRB-50は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。 ワイヤーソー等でシリコンブロックをスライスする際に、事前にIRB-50にて内部異物を検出し、対応することによって、ワイヤーソーのダメージ、断線を抑えることが可能です。 IRB-30の後継機となり、エリアスキャンからラインスキャンとなったことで、測定分解能、精度、設置面積が改善されました。
  • 薄膜太陽電池パネル測定装置 PT-5
    薄膜太陽電池パネル測定装置PT-5は、分光エリプソメータなど太陽電池で必要な様々な測定のマッピング測定が可能です。
  • 簡易型エリプソメーター LE-100PV
    エリプソメーターLE-100PVは、太陽電池開発用途に適したコストパフォーマンスの高い装置です。
  • 単結晶インゴット用ライフタイム測定器 WT-2000PI
    ライフタイム測定器 WT-2000PIは、e-PCD技術を使用し、 パッシベーション処理なしの単結晶シリコンインゴット状態で 少数キャリアライフタイムを測定します。
  • 比抵抗測定器 RT-1000
    比抵抗測定器 RT-1000は、ベストセラー機 RT-100の後継機種となり、渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗測定を可能とし、またシリコン端材、スクラップを含むシリコンインゴット原料のクラス分けにも最適です。
  • インライン型ウェハー測定モジュール
    品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。  搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。 ウェハーの測定、測定後のウェハーソーティングが可能です。
  • 表面電荷分析装置 SCA-2011
    SCA-2011 表面電荷分析装置は、半導体前工程管理とりわけ熱酸化膜、CVD膜形成、メタライゼーション、洗浄及びエッチングなどプロセス中に生じた汚染とダメージのモニタリングに最適です。

多結晶太陽電池

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • DLTSシステム DLS-1000
    DLTS測定評価システム「DLS-1000」は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染及びダメージ等による結晶欠陥を電気的に高感度に測定・分析を行うシステムです
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 高効率太陽電池開発用測定装置 PV-2000
    PV-2000は、Semilab社とSDI社の技術を結合した太陽電池開発用の総合測定装置です。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • シリコンブロック内部異物検査装置 IRB-50
    IRB-50は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。 ワイヤーソー等でシリコンブロックをスライスする際に、事前にIRB-50にて内部異物を検出し、対応することによって、ワイヤーソーのダメージ、断線を抑えることが可能です。
  • 簡易型エリプソメーター LE-100PV
    エリプソメーターLE-100PVは、太陽電池開発用途に適したコストパフォーマンスの高い装置です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。
  • 単結晶インゴット用ライフタイム測定器 WT-2000PI
    ライフタイム測定器 WT-2000PIは、e-PCD技術を使用し、 パッシベーション処理なしの単結晶シリコンインゴット状態で 少数キャリアライフタイムを測定します。
  • 比抵抗測定器 RT-1000
    比抵抗測定器 RT-1000は、ベストセラー機 RT-100の後継機種となり、渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗測定を可能とし、またシリコン端材、スクラップを含むシリコンインゴット原料のクラス分けにも最適です。
  • PN判定器 PN-100
    PN判定器 PN-100は、半導体材料を非接触/非破壊にてP/Nタイプ判定いたします。
  • インライン型ウェハー測定モジュール
    品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。  搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。 ウェハーの測定、測定後のウェハーソーティングが可能です。

単結晶太陽電池

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • DLTSシステム DLS-1000
    DLTS測定評価システム「DLS-1000」は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染及びダメージ等による結晶欠陥を電気的に高感度に測定・分析を行うシステムです
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 高効率太陽電池開発用測定装置 PV-2000
    PV-2000は、Semilab社とSDI社の技術を結合した太陽電池開発用の総合測定装置です。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • シリコンブロック内部異物検査装置 IRB-50
    IRB-50は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。 ワイヤーソー等でシリコンブロックをスライスする際に、事前にIRB-50にて内部異物を検出し、対応することによって、ワイヤーソーのダメージ、断線を抑えることが可能です。
  • 簡易型エリプソメーター LE-100PV
    エリプソメーターLE-100PVは、太陽電池開発用途に適したコストパフォーマンスの高い装置です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。
  • 単結晶インゴット用ライフタイム測定器 WT-2000PI
    ライフタイム測定器 WT-2000PIは、e-PCD技術を使用し、 パッシベーション処理なしの単結晶シリコンインゴット状態で 少数キャリアライフタイムを測定します。
  • 比抵抗測定器 RT-1000
    比抵抗測定器 RT-1000は、ベストセラー機 RT-100の後継機種となり、渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗測定を可能とし、またシリコン端材、スクラップを含むシリコンインゴット原料のクラス分けにも最適です。
  • PN判定器 PN-100
    PN判定器 PN-100は、半導体材料を非接触/非破壊にてP/Nタイプ判定いたします。
  • インライン型ウェハー測定モジュール
    品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。  搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。 ウェハーの測定、測定後のウェハーソーティングが可能です。
  • 表面電荷分析装置 SCA-2011
    SCA-2011 表面電荷分析装置は、半導体前工程管理とりわけ熱酸化膜、CVD膜形成、メタライゼーション、洗浄及びエッチングなどプロセス中に生じた汚染とダメージのモニタリングに最適です。

シリコン薄膜系太陽電池

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • DLTSシステム DLS-1000
    DLTS測定評価システム「DLS-1000」は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染及びダメージ等による結晶欠陥を電気的に高感度に測定・分析を行うシステムです
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • シリコンブロック内異物検査装置 IRB-50
    IRB-50は、赤外線を使用し、シリコンブロックの内部異物(主にSiC, SiNなど)を検査する装置です。 ワイヤーソー等でシリコンブロックをスライスする際に、事前にIRB-50にて内部異物を検出し、対応することによって、ワイヤーソーのダメージ、断線を抑えることが可能です。 IRB-30の後継機となり、エリアスキャンからラインスキャンとなったことで、測定分解能、精度、設置面積が改善されました。
  • 薄膜太陽電池パネル測定装置 PT-5
    薄膜太陽電池パネル測定装置PT-5は、分光エリプソメータなど太陽電池で必要な様々な測定のマッピング測定が可能です。
  • 簡易型エリプソメーター LE-100PV
    エリプソメーターLE-100PVは、太陽電池開発用途に適したコストパフォーマンスの高い装置です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。

CIGS

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • DLTSシステム DLS-1000
    DLTS測定評価システム「DLS-1000」は、ウェハープロセス時に生じる金属汚染及びダメージ等による結晶欠陥を電気的に高感度に測定・分析を行うシステムです
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R
    ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール) 生産工程で、薄膜フィルムの膜厚と光学定数(屈折率、消衰係数)の測定・検査を行います。QCモニタリングにて多くの実績があります。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 薄膜太陽電池パネル測定装置 PT-5
    薄膜太陽電池パネル測定装置PT-5は、分光エリプソメータなど太陽電池で必要な様々な測定のマッピング測定が可能です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。

有機太陽電池

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R
    ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール) 生産工程で、薄膜フィルムの膜厚と光学定数(屈折率、消衰係数)の測定・検査を行います。QCモニタリングにて多くの実績があります。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 薄膜太陽電池パネル測定装置 PT-5
    薄膜太陽電池パネル測定装置PT-5は、分光エリプソメータなど太陽電池で必要な様々な測定のマッピング測定が可能です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。
  • 分光エリプソメーター 有機EL アプリケーション・ノート
    分光エリプソメーター 有機EL アプリケーション・ノート

色素増感太陽電池

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R
    ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール) 生産工程で、薄膜フィルムの膜厚と光学定数(屈折率、消衰係数)の測定・検査を行います。QCモニタリングにて多くの実績があります。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • ライフタイム測定装置 WT-2000
    ライフタイム測定装置WT-2000は、半導体、太陽電池業界においてキャリアのライフタイムを評価するために幅広く使用されています。u-PCD法によりシリコン・ブロックやウェハーのマイノリティキャリア・ライフタイム測定をし、マッピング表示が可能です。 (シリコン・ウェハー/ブロック) ※ インライン全自動ライフタイム測定装置 WT-2000PIもございます。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 薄膜太陽電池パネル測定装置 PT-5
    薄膜太陽電池パネル測定装置PT-5は、分光エリプソメータなど太陽電池で必要な様々な測定のマッピング測定が可能です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。