半導体      フォトルミネッセンス PLI-1001

フォトルミネッセンス PLI-1001

概要

インライン・フォトルミネッセンスPLI-1001は、半導体プロセスのあらゆる工程でウェアの品質検査を非接触で高速に行います。

製造工程で、品質管理をフルにコントロールすることにより、歩留りの改善に貢献します。

フォトルミネッセンス 特徴

- 完全自動インライン・フォトルミネッセンス
- 高速・高分解能測定
- ウェハからセルまであらゆる製造プロセルに対応
- On the fly lifetime calibration
- 多様な拡張オプション

検査項目

- 転位濃度
- クラック
- 汚染濃度
- エッジ汚染
- 空孔濃度
- ライフタイム
- シャント
- エッジアイソレーション欠陥
- Bad finger