FPD      大型パネル検査装置 分光エリプソメーター FPT-6

大型パネル検査装置 分光エリプソメーター FPT-6

概要

分光エリプソメーターFPT6は、液晶パネルディスプレイや有機ELの膜厚や光学特性の評価に最適です。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。

【測定可能な物理特性】

-膜厚 (単層膜、多層膜)
-光学特性(屈折率、消衰係数)
-シート抵抗
-ライフタイム測定
-反射率・透過率測定
-ラマン分光
-ストレス検査

分光エリプソメーター 仕様

最大測定波長範囲:250~1700nm
サンプルサイズ:~ 第10世代まで対応

アプリケーション

-液晶パネル・ディスプレイ
-有機EL
-その他のフィルム

オプション類

-FTIR
-マイクロスポット
-コンペンセーター
-透過率測定
-ラマン分光
-ライフタイム測定
-LBIC測定