FPD      ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R

ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R

概要

ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール) 生産工程で、薄膜フィルムの膜厚と光学定数(屈折率、消衰係数)の測定・検査を行います。QCモニタリングにて多くの実績があります。

ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール)工程で薄膜フィルムの自動フォーカスを高速に行い、回転補償子法により正確な膜厚と屈折率のリアルタイム測定・検査が可能です。

主な測定・評価項目

- 膜厚検査
- 光学特性(屈折率・消衰係数)
- シート抵抗測定
- PL
- 反射率・透過率・ヘイズ
- ラマン分光

分光エリプソメーター 仕様

- 回転補償子型 分光エリプソメトリー
- 測定波長範囲:250nm - 1700nm
- オートフォーカス機能
- マイクロ・スポット
- リアルタイム測定

Schematic view of single pass single roll-to-roll process

ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R