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薄膜測定 製品一覧

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、従来の分光エリプソメトリーで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 大型パネル検査装置 分光エリプソメーター FPT-6
    分光エリプソメーターFPT6は、液晶パネルディスプレイや有機ELの膜厚や光学特性の評価に最適です。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 簡易型エリプソメーター LE-100PV
    エリプソメーターLE-100PVは、太陽電池開発用途に適したコストパフォーマンスの高い装置です。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。
  • 分光エリプソメーター 有機EL アプリケーション・ノート
    分光エリプソメーター 有機EL アプリケーション・ノート
  • 分光エリプソメーター 低温ポリシリコン アプリケーションノート
    分光エリプソメーター 低温ポリシリコン アプリケーションノート