太陽電池      表面電荷分析装置 SCA-2011

表面電荷分析装置 SCA-2011 - 太陽電池

概要

SCA-2011 表面電荷分析装置は、半導体前工程管理とりわけ熱酸化膜、CVD膜形成、メタライゼーション、洗浄及びエッチングなどプロセス中に生じた汚染とダメージのモニタリングに最適です。

*新しいDischarge方式により測定精度が向上しました。
*ポロニウムを使用しないため安心してご使用頂けます。

用途

ウェハー表面電荷量及び界面準位密度の測定
  ■酸化膜工程
   ・ウェハー汚染やプラズマ損傷による酸化膜中 電荷量の変化
   ・熱ストレス等による界面準位密度の変化
   ・窒化酸化膜中の固定電荷モニター
  ■洗浄工程管理
   ・ウェハー洗浄後の表面状態の電荷量チェック
  ■CVD工程管理
   ・膜中トラップ電荷状態のチェック

特徴

■非破壊リアルタイムプロセスモニター・工程管理直後測定可能
・電極形成不要
・モニターウェハーの再生使用可能

・高速測定 → < 1点/分
・簡易操作 

SCA 測定結果

表面電荷分析装置 SCA-2011 - 太陽電池
Wd-Qind and IQF-E curves of the 5th measurement in the 3rd point