半導体      サーフェイスチャージプロファイラー QC2500

サーフェイスチャージプロファイラー  QC2500 - 半導体

概要

QC2500シリーズは、非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率をモニターすることができます。測定原理としてサーフェイスフォトボルテージ(SPV)法を用いてウェハー上にパルス光を照射することによりウェハー表面電位変化を検出し、空乏層幅を測定します。強反転状態の空乏層幅が不純物濃度に比例することにより、不純物濃度測定を行い、抵抗率に換算(ASTM)します。

特徴

■非破壊・非接触測定 モニター
 ・モニターウェハー不要 

■ウェハー表面処理装置内臓
 ・UV+コロナチャージ 及び ROSTによる測定前の表面処理が可能

■高スループット
 ・測定スピード/ 1ポイント 0.1秒